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Drum Shaker
Drum Shaker
这是一台防止Drum内部Slurry沉淀，以便维持Slurry的质量（用于CMP工程）的设备
主要特点
•容量 : 1 Drum•防止误入其他药品 : Barcode reader
Interlock (Top clamp, Front clamp, Door Interlock, Leak Sensor)
•启动方式 : Touch Screen
•运行方式 : 360˚ 垂直旋转
•特点 : 可设置旋转速度以及定时器
Empty Mode
可查看或传送工作历史纪录
根据 Drum Size 可调节 Clamp
可再定制Drum Shaker Auto Cart
尺寸(mm, 不含轮胎和 Tower Lamp的高度)
| SIZE | W | D | H |
|---|---|---|---|
| 100L | 1300 | 1100 | 1435 |
| 200L | 1400 | 1300 | 1580 |
| DRUM SIZE | CAPACITY |
|---|---|
| Φ 600*900mm | 250Kg |