CMP 공정에 공급되는 Slurry 품질 유지를 위한 Bottle 내부 Slurry 침전 방지용 장비
주요 특징
•용량 : 10L 4ea, 20L 2ea
•휴먼에러방지 : Barcode reader , Interlock
•작동방식 : Touch screen
•운전방식 : 10L – 360도 수평회전
20L - 360도 수직회전회전 속도 및 Timer 설정 가능
•특징 : 회전 속도 및 Timer 설정
Empty Mode
알람 & 작업이력 조회
BS10, BS10BN, BS10BNTL(10L) 4 Bottle 동시 진행 및 각각 Control 가능
BS20, BS20BN, BS20BNTL(20L) 2 Bottle 동시 진행 및 각각 Control 가능