제품소개
비오비시스템은 고객의 니즈에 발맞추어 함께 성장하는 글로벌 기업입니다.
Drum Shaker
Drum Shaker
CMP 공정에 공급되는 Slurry 품질 유지를 위한 Drum 내부 Slurry 침전 방지용 장비
주요 특징
•용량 : 1 Drum•휴먼에러방지 : Barcode reader
Interlock (Top clamp, Front clamp, Door Interlock, Leak Sensor)
•작동방식 : Touch Screen
•운전방식 : 360도 수직회전
•특징 : 회전 속도 및 Timer 설정
Empty Mode
알람 & 작업이력 조회
Drum Size에 따라 Clamp 조절로 맞춤
Drum Shaker Auto Cart 주문제작 가능
치수(mm, 바퀴와 Tower Lamp 높이 제외)
| SIZE | W | D | H |
|---|---|---|---|
| 100L | 1,300 | 1,100 | 1,435 |
| 200L | 1,400 | 1,300 | 1,580 |
| DRUM SIZE | CAPACITY |
|---|---|
| Φ 600*900mm | 250Kg |